黎明化工研究設(shè)計(jì)院有限責(zé)任公司承擔(dān)的國(guó)家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”的子項(xiàng)目“高純四氟化碳和六氟化硫研發(fā)與中試”項(xiàng)目已部分實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。
2013年1月,黎明院科研項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)在現(xiàn)有氟化物工藝基礎(chǔ)上,突破產(chǎn)物合成、精制提純、雜物分析、潔凈充裝等關(guān)鍵技術(shù),并投入300萬余元建成標(biāo)準(zhǔn)化潔凈間,為該公司含氟電子氣體產(chǎn)品的推廣搭建良好的展示平臺(tái)。
2015年12月,黎明院完成高純四氟化碳生產(chǎn)試驗(yàn),試制出符合指標(biāo)要求的產(chǎn)品并通過客戶驗(yàn)證。今年3月份,黎明院高純六氟化硫已實(shí)現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn),產(chǎn)能由最初的年產(chǎn)50噸,逐步改擴(kuò)建為年產(chǎn)1000噸,年產(chǎn)值5000萬元以上,電子級(jí)四氟化碳產(chǎn)品也提交客戶使用,市場(chǎng)反應(yīng)良好。目前,該項(xiàng)目完成了5項(xiàng)專利申請(qǐng),其中發(fā)明專利3項(xiàng),使用新型專利2項(xiàng)。